电子半导体类的产品需要的无尘车间洁净度-清阳工程
电子半导体类的产品对于生产环境的要求很高,而这类产品又细分出很多行业,不同行业对无尘车间洁净度的要求也不尽相同。
电子半导体类的产品对于生产环境的要求很高,而这类产品又细分出很多行业,不同行业对无尘车间洁净度的要求也不尽相同。
半导体材料在不同工序中的洁净度要求各有差异:拉单晶工序的洁净度通常处于 6 - 8 级;切磨抛工序的洁净度则为 5 - 7 级;清洗和外延工序的洁净度需达到 4 - 6 级。
集成电路(IC)芯片制造过程中,各个工序的洁净度要求也不尽相同:氧化、扩散、清洗、刻蚀、薄膜、离子注入、CMP 等工序的洁净度为 2 - 5 级;光刻工序的洁净度为 1 - 5 级;检测工序的洁净度处于 3 - 6 级;设备区的洁净度则为 6 - 8 级。
集成电路封装测试环节,不同工序的洁净度要求分别为:通孔、凸块工序的洁净度为 5 - 6 级;晶圆检查、中测、磨片、划片、粘片、焊线等工序的洁净度为 6 - 7 级;塑封、成测工序的洁净度为 7 - 8 级。
微波集成组件(微波集成电路)在制造过程中,工序洁净度要求如下:内部装配裸芯片的产品需达到 8 级,航天用微波集成组件则要求达到 7 级。
印制电路板(PCB)的各工序有着特定的洁净度标准:层压叠板工序的洁净度为 6 级,图形转移(曝光)、照相底板工序的洁净度为 7 级,阻焊图形转移(曝光)工序的洁净度为 8 级。
光导纤维的生产中,各工序的洁净度要求为:预制板工序的洁净度为 6 - 7 级,拉丝工序的洁净度为 5 - 7 级,光盘制造工序的洁净度为 6 - 8 级,检测间的洁净度为 8 级。
磁头生产时,其核心区的洁净度要求为 5 级,清洗区的洁净度要求为 6 级。
高密磁带制造的工序洁净度要求为 6 - 8 级,局部区域甚至要求达到 5 级。
HDD(微硬盘驱动器)的制造中,其制造区的洁净度要求为 3 - 4 级,其他区域的洁净度要求则为 6 - 7 级。
片式陶瓷电容、片式电阻等电子元器件制造时,丝印、流延工序的洁净度要求为 8 级。
声表面波器件制造(光学和电子学结合)过程中,光刻显影工序的洁净度要求为 5 级,镀膜、清洗、划片、封帽等工序的洁净度要求为 6 级。
微组装(SMT 等)的各工序洁净度要求为:环氧贴装、再流焊、共晶焊、钎焊、平行缝焊、激光焊、涂覆、真空烘焙等工序的洁净度需在 8 级以上,引线键合、倒装焊、清洗等工序的洁净度要求在 7 级以上。
电子仪器、微型计算机装配的工序洁净度要求为 8 级。
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